CCDカメラ、トリガー又は スキャニングプローブ（オプション）、レーザーセンサー（オプション）の3種類のセンサーを使い分け、この1台で高精度に高速であらゆる測定が可能
CCDカメラ + プローブ + レーザー
= 3Dマルチセンサーテクノロジー
CCDカメラ、トリガー又は スキャニングプローブ（オプション）、レーザーセンサー（オプション）の3種類のセンサーを使い分け、この1台で高精度に高速であらゆる測定が可能
| 最大許容指示誤差 DIN EN ISO 10360-2 VDI/VDE 2617 |
E2 = (2.0 + L/ 300 mm ) μm E3 = (2.8 + L/ 300 mm ) μm L mm ： 測定長さ |
|---|---|
| 最大ワーク質量 （ガラスプレート上） |
20kg |
| 対物レンズ倍率/ 視野(mm) | ・1.5倍/ 4×3 ・3倍/ 2×1.5 ・.5倍/1.2×0.9 ・10倍/0.6×0.45 上記4種類から選択 その他倍率もご要望により対応 |
| 測定範囲 X×Y×Z( mm) |
・PMS 200 ：200×200×200 ・PMS 300 ：300×300×300 ・PMS 400 ：400×400×300 ・PMS 500 ：500×500×300 ・PMS 600 ：600×600×300 ・PMS 700 ：700×700×300 ・PMS 900 ：900×700×300 ・PMS 1200 ：1000×1200×300 ・PMS 1500 ：1000×1500×300 ・PMS 1700 ：1500×1700×300 |
| エアーベアリング採用の超高精度機 PMS LLシリーズ 測定範囲 X×Y×Z ( mm) 最大許容指示誤差 |
・PMS 600LL ：600×600×600 ・PMS 700LL ：700×700×600 ・PMS 900LL ：900×700×600 ・PMS 1200LL ：1200×1200×600 E2 = (1.2 + L/ 500 mm ) μm E3 = (1.9 + L/ 400 mm ) μm L mm ： 測定長さ |
